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  1. 学術雑誌論文等

Self-limiting atomic-layer deposition of Si on SiO2 by alternate supply of Si2H6 and SiCl4

https://hiroshima.repo.nii.ac.jp/records/2006264
https://hiroshima.repo.nii.ac.jp/records/2006264
6cd5f455-d02c-47fb-904b-d65c7f6d83ee
名前 / ファイル ライセンス アクション
ApplPhysLett_79_617.pdf ApplPhysLett_79_617.pdf (103.3 KB)
Item type デフォルトアイテムタイプ_(フル)(1)
公開日 2023-03-18
タイトル
タイトル Self-limiting atomic-layer deposition of Si on SiO2 by alternate supply of Si2H6 and SiCl4
言語 en
作成者 Yokoyama, Shin

× Yokoyama, Shin

en Yokoyama, Shin

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Ohba, Kenji

× Ohba, Kenji

en Ohba, Kenji

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Nakajima, Anri

× Nakajima, Anri

en Nakajima, Anri

Search repository
アクセス権
アクセス権 open access
アクセス権URI http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
権利情報
権利情報 Copyright (c) 2001 American Institute of Physics.
内容記述
内容記述 Atomic-layer deposition of Si on SiO2 with a self-limiting growth mode was achieved at substrate temperatures between 355 and 385 °C by means of alternate supply of Si2H6 and SiCl4 gas sources. The growth rate was saturated at 2 ML per cycle at these temperatures and for Si2H6 exposure time over 120 s. The smooth surface (∼0.26 nm in arithmetic average roughness) was obtained under the self-limiting condition irrespective of a film thickness up to 6.5 nm.
言語 en
出版者
出版者 American Institute of Physics
言語
言語 eng
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ journal article
出版タイプ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
関連情報
識別子タイプ DOI
関連識別子 10.1063/1.1389508
関連情報
識別子タイプ DOI
関連識別子 http://dx.doi.org/10.1063/1.1389508
収録物識別子
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 0003-6951
収録物識別子
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AA00543431
開始ページ
開始ページ 617
書誌情報 Applied Physics Letters
Applied Physics Letters

巻 79, 号 5, p. 617-619, 発行日 2001-07-30
旧ID 18585
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Ver.1 2025-02-21 03:15:50.702281
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