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ULSIプロセスにおけるエッチング及びCVDの表面反応過程に関する研究
https://doi.org/10.11501/3079884
https://doi.org/10.11501/30798846aae9370-41c3-45eb-b824-7763aacea9ae
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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diss_otsu2418.pdf (58.1 MB)
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| Item type | デフォルトアイテムタイプ_（フル）(1) | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2023-03-18 | |||||||||
| タイトル | ||||||||||
| タイトル | ULSIプロセスにおけるエッチング及びCVDの表面反応過程に関する研究 | |||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 作成者 |
坂上, 弘之
× 坂上, 弘之
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| アクセス権 | ||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||
| 権利情報 | ||||||||||
| 権利情報 | Copyright(c) by Author | |||||||||
| 主題 | ||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||
| 主題 | 540 | |||||||||
| 内容記述 | ||||||||||
| 内容記述タイプ | TableOfContents | |||||||||
| 内容記述 | 目次 / p1 第1章 序説 / p1 1.1 ULSIプロセスにおけるエッチングおよびCVD技術 / p1 1.2 表面反応研究の重要性 / p2 1.3 本研究の目的 / p2 1.4 概要 / p3 第1章の参考文献 / p6 第2章 デジタル・エッチングによるSiの原子層エッチングと表面反応過程 / p9 2.1 はじめに / p9 2.2 実験方法 / p9 2.3 原子層エッチング / p10 2.4 Si/F系の低温エッチング機構 / p12 2.5 マイクロ・ローディング / p16 2.6 微細細線による側壁への損傷評価 / p17 2.7 F、Cl/SiによるSiエッチング速度のAr⁺、Ne⁺イオンエネルギー依存性 / p22 2.8 まとめ / p23 第2章の参考文献 / p24 第3章 フッ素、塩素/Si反応表面へのレーザ照射効果 / p25 3.1 はじめに / p25 3.2 実験装置と実験方法 / p25 3.3 RIE表面へのエキシマレーザ照射による増速効果 / p25 3.4 XPSとLIDによるフッ素/Si表面反応観察 / p28 3.5 まとめ / p33 第3章の参考文献 / p33 第4章 AIのレーザ誘起パターン転写エッチング / p35 4.1 はじめに / p35 4.2 実験装置および実験方法 / p35 4.3 エッチング終点検出 / p37 4.4 エッチング特性とパターン転写のモデル / p37 4.5 酸素注入効果 / p39 4.6 まとめ / p42 第4章の参考文献 / p42 第5章 CH₃OHを用いたITO膜エッチングの反応機構 / p43 5.1 はじめに / p43 5.2 実験方法 / p43 5.3 エッチング特性 / p44 5.4 XPSを用いたエッチング反応機構の検討 / p47 5.5 CH₃OHプラズマに曝されたレジスト表面の評価 / p51 5.6 各種下地材料とのエッチング選択比の比較 / p53 5.7 まとめ / p53 第5章の参考文献 / p53 第6章 SiH₄/O₂を用いたSi酸化膜のデジタルCVD / p55 6.1 はじめに / p55 6.2 実験方法 / p55 6.3 堆積特性と膜質評価 / p56 6.4 まとめ / p63 第6章の参考文献 / p63 第7章 有機系ガスを用いたデジタルCVDと反応機構 / p65 7.1 有機系ガスによるコンフォーマル堆積 / p65 7.2 in-situ FTIR法によるTES/水素反応過程の観察 / p72 7.3 デジタル法によるSi酸化膜および窒化膜の形成 / p79 7.4 まとめ / p84 第7章の参考文献 / p86 第8章 AIの選択CVDの反応過程 / p87 8.1 はじめに / p87 8.2 DMAIHを用いた実験 / p87 8.3 in-situ FTIR-ATRによる選択成長過程の検討 / p95 8.4 DEAIHを用いた実験 / p99 8.5 まとめ / p107 第8章の参考文献 / p107 第9章 結論 / p109 謝辞 / p112 発表論文リスト / p113 1.主要関係論文リスト / p113 2.参考論文リスト / p115 | |||||||||
| 言語 | ||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||
| 出版タイプ | NA | |||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_be7fb7dd8ff6fe43 | |||||||||
| ID登録 | ||||||||||
| ID登録 | 10.11501/3079884 | |||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 関連名称 | 1) H. Sakaue, S. Iseda, K. Asami, J. Yamamoto, M. Hirose and Y. Horiike; "Atomic Layer Controlled Digital Etching of Silicon", Jpn. J. Appl. Phys. 29 (1990) pp. 2648-2652. | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 関連名称 | 2) H. Sakaue, M. Nakano, T. Ichihara and Y. Horiike; "Digital Chemical Vapor Deposition of SiO2 Using a Repetitive Reaction of Triethylsilane/Hydrogen and Oxidation", Jpn. J. Appl. Phys. 30 (1991) pp.L124-L127. | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 関連名称 | 3) H. Sakaue, K. Asami, T. Ichihara, S. Ishizuka, K. Kawamura and Y. Horiike; "Digital Process for Advanced VLSI's and Surface Reaction Study", Materials Research Society Symp. Proc. Vol. 222 (1991) pp.195-206. | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 関連名称 | 4) H. Sakaue, M. Koto and Y. Horiike; "In-Situ X-Ray Photoelectron Spectroscopy of Reactive-Ion-Etched Surfaces of Indium-Tin Oxide Film Employing Alcohol Gas", Jpn. J. Appl. Phys. 31 (1992) pp.2006-2010. | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 関連名称 | 5) H. Sakaue, S. Miyazaki and M. Hirose; "Laser-Induced Pattern Projection Etching of Aluminum", Proc. of Symp. on Dry Process, (Tokyo, 1988) pp.187-190. | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 関連名称 | 6) H. Kawamoto, H. Sakaue, S. Takehiro and Y. Horiike; "Study on Reaction Mechanism of Aluminum Selective Chemical Vapor Deposition with In-situ XPS Measurement", Jpn. J. Appl. Phys., 29 (1990) pp. 2657-2662. | |||||||||
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| 関連タイプ | references | |||||||||
| 関連名称 | 7) Y. Horiike, T. Ichihara and H. Sakaue; "Filling of Si Oxide into a Deep Trench Using Digital CVD Method", Appl. Surface Sci., 46 (1990) pp. 168-174. | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 関連名称 | 8) Y. Horiike, T. Tanaka, M. Nakano, S. Iseda, H. Sakaue, A. Nagata, H. Shindo, S. Miyazaki and M. Hirose; "Digital Chemical Vapor Deposition and Etching Technologies for Semiconductor Processing", J. Vac. Sci. Technol., A8 (1990) pp. 1845-1850. | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 関連名称 | 9) M. Nakano, H. Sakaue, A. Nagata, H. Kawamoto, M. Hirose and Y. Horiike; "Digital Chemical Vapor Deposition of SiO2", Appl. Phys. Lett., 57 (1990) pp. 6475-6478. | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 関連名称 | 10) K. Kawamura, S. Ishizuka, H. Sakaue and Y. Horiike; "Diagnostics of Hydrogen Role on the Si Surface Reaction Process Employing In-situ Fourier Transform Infrared-Attenuated Total Reflection", Jpn. J. Appl. Phys. 30 (1991) pp.3215-3218. | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 関連名称 | 11) Y. Horiike, K. Asami, T. Hashimoto, J. Yamamoto, H. Sakaue, H. Shindo and Y. Todokoro; "Low Energy Silicon Etching Technologies", Proc. of Microcircuit Engineering 90, Ed. by G. Declerck, L. Van den hove and F. Coopmans, (Belgium, 1990) pp. 417-424. | |||||||||
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| 関連タイプ | references | |||||||||
| 関連名称 | 12) T. Ichihara, H. Sakaue, T. Okada and Y. Horiike; "Conformal Chemical Vapor Deposition of Insulator Films Employing Digital Method", Proc. of Symp. on Dry Process, (Tokyo, 1990) pp.35-40. | |||||||||
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| 関連名称 | 13) H. Sakaue, K. Asami, M. Yamamoto, M. Kawasaki and Y. Horiike; "Excimer Laser Enhanced Reactive Ion Etching", Proc. of Intern. Conf. on Laser Advanced Materials Processing (Nagaoka, 1992) pp.1159-1164. | |||||||||
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| 識別子タイプ | DOI | |||||||||
| 関連識別子 | http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.29.2648 | |||||||||
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| 識別子タイプ | DOI | |||||||||
| 関連識別子 | http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.30.L124 | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
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| 識別子タイプ | DOI | |||||||||
| 関連識別子 | http://dx.doi.org/10.1557/PROC-222-195 | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||
| 関連識別子 | http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.31.2006 | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
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| 識別子タイプ | DOI | |||||||||
| 関連識別子 | http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.29.2657 | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||
| 関連識別子 | http://dx.doi.org/10.1016/0169-4332(90)90138-P | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||
| 関連識別子 | http://dx.doi.org/10.1116/1.576814 | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||
| 関連識別子 | http://dx.doi.org/10.1063/1.104284 | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||
| 関連識別子 | http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.30.3215 | |||||||||
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| 識別子タイプ | DOI | |||||||||
| 関連識別子 | http://dx.doi.org/10.1016/0167-9317(91)90124-V | |||||||||
| 開始ページ | ||||||||||
| 開始ページ | 1 | |||||||||
| 書誌情報 |
p. 1 |
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| 学位授与番号 | ||||||||||
| 学位授与番号 | 乙第2418号 | |||||||||
| 学位名 | ||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||||||
| 学位名 | ||||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 学位名 | Engineering | |||||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||||
| 学位授与年月日 | 1993-05-13 | |||||||||
| 学位授与機関 | ||||||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||||||
| 学位授与機関識別子 | 15401 | |||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 学位授与機関名 | 広島大学 | |||||||||
| 学位授与機関 | ||||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 学位授与機関名 | Hiroshima University | |||||||||
| 旧ID | 31835 | |||||||||
