WEKO3
アイテム
トンネル音響顕微鏡
https://doi.org/10.11501/3105947
https://doi.org/10.11501/310594728f625d7-e1d7-473c-8c3b-1145f13cb5c2
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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diss_otsu2604.pdf (33.0 MB)
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| Item type | デフォルトアイテムタイプ_（フル）(1) | |||||||||
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| 公開日 | 2023-03-18 | |||||||||
| タイトル | ||||||||||
| タイトル | Tunneling Acoustic Microscope | |||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| タイトル | ||||||||||
| タイトル | トンネル音響顕微鏡 | |||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 作成者 |
高田, 啓二
× 高田, 啓二
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| アクセス権 | ||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||
| 権利情報 | ||||||||||
| 権利情報 | Copyright(c) by Author | |||||||||
| 主題 | ||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||
| 主題 | 540 | |||||||||
| 内容記述 | ||||||||||
| 内容記述 | This paper describes a new type of acoustic microscope based upon a scanning tunneling microscope (STM). This is an STM with an acoustic sensor that obtains physical information from an acoustic wave as well as the tunneling current. Interactions capable of generating strains in the STM sample are detectable and are used to image sample properties. This enhances STM's capabilities without reducing its ability, and enables imaging of nonconducting materials and imaging of dielectric and piezoelectric properties. | |||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 内容記述 | ||||||||||
| 内容記述タイプ | TableOfContents | |||||||||
| 内容記述 | Abstract / p2 Contents / p3 1.Introduction / p4 2.Principle / p7 2.1 Surface Force / p9 2.2 Electrostatic Force / p10 2.3 Piezoelectric Effect / p12 3.Instrumentation / p14 3.1 Configuration / p14 3.2 Ultrasonic Motor for Tip Approach System / p16 3.3 Charge Control / p18 4.Experimental Results and Discussion / p20 4.1 Surface Force Detection / p20 4.2 Electrostatic Force Detection / p21 4.3 Surface Contour / p22 4.4 Defects Induced by Thermal Oxidation / p22 4.5 Ion-Implanted Silicon / p25 4.6 Contact Hole / p31 4.7 Piezoelectric Thin Film / p34 5.Conclusion / p40 Acknowledgements / p41 | |||||||||
| 言語 | ||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||
| 出版タイプ | NA | |||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_be7fb7dd8ff6fe43 | |||||||||
| ID登録 | ||||||||||
| ID登録 | 10.11501/3105947 | |||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 関連名称 | [1] Tunneling acoustic microscope. K. Takata, T. Hasegawa, S. Hosaka, S. Hosoki, and T. Komoda. Applied Physics Letters, Vol. 55, No. 17 (1989) pp. 1718-1720. | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 関連名称 | [2] Tunneling Acoustic Microscope. K. Takata, J. Yugami, T. Hasegawa, S. Hosaka, S. Hosoki, and T. Komoda. Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 28, No. 12 (1989) pp. L2279-L2280. | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 関連名称 | [3] Electrostatic Force Imaging by Tunneling Acoustic Microscopy. K. Takata, T. Okawa, and M. Horiuchi. Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 30, No. 2B (1991) pp. L309-L312. | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 関連名称 | [4] Observation of deep contact holes and conductive components underlying insulator in a memory cell by tunneling acoustic microscopy. K. Takata, T. Kure, and T. Okawa. Applied Physics Letters, Vol. 60, No. 4 (1992) pp. 515-517. | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 関連名称 | [5] Strain Imaging of Lead-Zirconate-Titanate Thin Film by Tunneling Acoustic Microscopy. K. Takata, K. Kushida, K. Torii, and H. Miki. Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 33, No. 5B (1994) pp. 3193-3196. | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||
| 関連識別子 | http://dx.doi.org/10.1063/1.102199 | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||
| 関連識別子 | http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.28.L2279 | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||
| 関連識別子 | http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.30.L309 | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||
| 関連識別子 | http://dx.doi.org/10.1063/1.106594 | |||||||||
| 関連情報 | ||||||||||
| 関連タイプ | references | |||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||
| 関連識別子 | http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.33.3193 | |||||||||
| 開始ページ | ||||||||||
| 開始ページ | 1 | |||||||||
| 書誌情報 |
p. 1 |
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| 学位授与番号 | ||||||||||
| 学位授与番号 | 乙第2604号 | |||||||||
| 学位名 | ||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 学位名 | 博士(理学) | |||||||||
| 学位名 | ||||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 学位名 | Physical Science | |||||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||||
| 学位授与年月日 | 1994-09-22 | |||||||||
| 学位授与機関 | ||||||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||||||
| 学位授与機関識別子 | 15401 | |||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 学位授与機関名 | 広島大学 | |||||||||
| 学位授与機関 | ||||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 学位授与機関名 | Hiroshima University | |||||||||
| 旧ID | 31853 | |||||||||
