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アイテム
マルチライン連続発振レーザ・ラテラル結晶化による(100)面方位制御多結晶シリコン薄膜形成と高性能多結晶シリコン薄膜トランジスタの作製
https://hiroshima.repo.nii.ac.jp/records/2004007
https://hiroshima.repo.nii.ac.jp/records/200400777565f86-8641-405d-a2a5-705968714e27
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
k7543_1.pdf (108.8 KB)
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k7543_2.pdf (179.5 KB)
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k7543_3.pdf (3.6 MB)
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| Item type | デフォルトアイテムタイプ_（フル）(1) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2023-03-18 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | (100) Oriented Poly-Si Thin Film Formation and Ultrahigh-Performance Poly-Si Thin Film Transistors Fabrication with Multi-Line Beam Continuous-Wave Laser Lateral Crystallization | |||||||
| 言語 | en | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | マルチライン連続発振レーザ・ラテラル結晶化による(100)面方位制御多結晶シリコン薄膜形成と高性能多結晶シリコン薄膜トランジスタの作製 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 作成者 |
Nguyen, Thi Thuy
× Nguyen, Thi Thuy
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| アクセス権 | ||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | eng | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||
| 出版タイプ | ||||||||
| 出版タイプ | NA | |||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_be7fb7dd8ff6fe43 | |||||||
| 学位授与番号 | ||||||||
| 学位授与番号 | 甲第7543号 | |||||||
| 学位名 | ||||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 学位名 | 博士(理学) | |||||||
| 学位名 | ||||||||
| 言語 | en | |||||||
| 学位名 | Doctor of Science | |||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||
| 学位授与年月日 | 2018-03-23 | |||||||
| 学位授与機関 | ||||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||||
| 学位授与機関識別子 | 15401 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 学位授与機関名 | 広島大学 | |||||||
| 学位授与機関 | ||||||||
| 言語 | en | |||||||
| 学位授与機関名 | Hiroshima University | |||||||
| 旧ID | 46126 | |||||||
