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  1. 研究報告書

飛行時間測定法を用いた中速イオン散乱法の開発と半導体プロセス評価への応用

https://hiroshima.repo.nii.ac.jp/records/2000735
https://hiroshima.repo.nii.ac.jp/records/2000735
27953e0a-ff60-4015-9cc8-f8d503590b59
名前 / ファイル ライセンス アクション
06555096.pdf 06555096.pdf (6.7 MB)
Item type デフォルトアイテムタイプ_(フル)(1)
公開日 2023-03-18
タイトル
タイトル 飛行時間測定法を用いた中速イオン散乱法の開発と半導体プロセス評価への応用
言語 ja
作成者 横山, 新

× 横山, 新

ja 横山, 新

en Yokoyama, Shin

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廣瀬, 全孝

× 廣瀬, 全孝

ja 廣瀬, 全孝

en Hirose, Masataka

Search repository
宮崎, 誠一

× 宮崎, 誠一

ja 宮崎, 誠一

en Miyazaki, Seiichi

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桜田, 勇蔵

× 桜田, 勇蔵

ja 桜田, 勇蔵

Search repository
アクセス権
アクセス権 open access
アクセス権URI http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
主題
主題Scheme Other
主題 表面損傷
主題
主題Scheme Other
主題 中速イオン散乱
主題
主題Scheme Other
主題 イオン注入装置
主題
主題Scheme Other
主題 飛行時間測定
主題
主題Scheme Other
主題 不純物分布
主題
主題Scheme Other
主題 半導体検出器
主題
主題Scheme Other
主題 スペクトルシミュレーション
主題
主題Scheme Other
主題 プラズマ損傷
主題
主題Scheme Other
主題 semiconductor detector
主題
主題Scheme Other
主題 time of flight measurement
主題
主題Scheme Other
主題 アンチモンイオン注入
主題
主題Scheme Other
主題 ion implanter
主題
主題Scheme Other
主題 surface damage
主題
主題Scheme Other
主題 plasma-induced damage
主題
主題Scheme Other
主題 impurity profile
主題
主題Scheme Other
主題 spectra simulation
主題
主題Scheme Other
主題 コンタクトホール
主題
主題Scheme Other
主題 アルゴンプラズマ
主題
主題Scheme Other
主題 medium energy ion scattering
主題
主題Scheme NDC
主題 540
内容記述
内容記述タイプ Other
内容記述 研究期間:平成6-8年度 ; 研究種目:基盤研究A1 ; 課題番号: 06555096
内容記述
内容記述タイプ Other
内容記述 原著には既発表論文の別刷を含む。
日付
日付 1998-03
日付タイプ Created
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws
資源タイプ research report
旧ID 26493
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Ver.1 2025-02-17 10:36:08.948804
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