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アイテム
MOSトランジスタのソース・ドレイン近傍でのドーパント2次元拡がり測定の研究
https://hiroshima.repo.nii.ac.jp/records/2000591
https://hiroshima.repo.nii.ac.jp/records/2000591e643eca3-d3df-4a9a-a89c-fdd6fe9e0a16
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
11650326.pdf (1.4 MB)
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| Item type | デフォルトアイテムタイプ_（フル）(1) | |||||||||||||
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| 公開日 | 2023-03-18 | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | MOSトランジスタのソース・ドレイン近傍でのドーパント2次元拡がり測定の研究 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 作成者 |
芝原, 健太郎
× 芝原, 健太郎
× 横山, 新
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| アクセス権 | ||||||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||||
| 主題 | ||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||
| 主題 | 420 | |||||||||||||
| 内容記述 | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||
| 内容記述 | 研究期間:平成11-12年度 ; 研究種目:基盤研究C2 ; 課題番号:11650326 | |||||||||||||
| 内容記述 | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||
| 内容記述 | 原著には既発表論文の別刷を含む。 | |||||||||||||
| 日付 | ||||||||||||||
| 日付 | 2002-03 | |||||||||||||
| 日付タイプ | Created | |||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||||||||||
| 資源タイプ | research report | |||||||||||||
| 旧ID | 20368 | |||||||||||||
